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真空無桿氣缸 CYV |
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| 系列/CAD |
使用環(huán)境壓力｛Pa (ABS)｝ |
缸徑 (mm) |
CYV  |
大氣～1.3×10-4 |
15,32 |
| 特長 |
- 真空環(huán)境內(nèi) (1.3×10-4Pa) 在搬運場合可以使用的氣缸。
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門閥 XGT |
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| 系列/CAD |
使用壓力范圍 (Pa) |
使用流體 |
門尺寸
(高×寬) (mm) |
動作壓力
(MPa) |
| XGT |
大氣壓～1×10-6 |
惰性氣體系的真空 |
32×222
46×236
50×336 |
0.45～0.6 |
| 特長 |
- 對于半導體裝置等場合、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
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平穩(wěn)出氣閥 XVD |
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| 系列/CAD |
閥形式 |
使用流體 |
配管連接方式 |
配管尺寸 |
| XVD |
常斷
(加壓通/彈簧密封) |
氮氣、空氣、惰性氣體等 |
VCR®
Swagelok® |
1/4B |
| 特長 |
- 閥與針閥一體化結(jié)構(gòu)使配管縮短為原來的1/4。
- (閥芯)座部分采用間隙隔膜，微粒子數(shù)量大幅降低。
- 伴隨主供氣初期供氣可進行流量調(diào)整。
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磁性開關(guān) D |
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| 系列 |
磁性開關(guān)種類 |
內(nèi)容 |
| D Series |
有觸點的磁性開關(guān) |
一般 (通用型) |
| 無觸點的磁性開關(guān) |
一般 (通用型) | |
鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥 XLAQ·XLDQ |
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| 系列/CAD |
動作方式 |
軸密封形式 |
閥形式 |
材質(zhì) |
法蘭尺寸 |
| XLAQ |
氣控 |
波紋管密封 |
單作用
(N.C.) |
閥體：
鋁
波紋管：
SUS316L |
16～50 |
| XLDQ |
波紋管密封
O形圈密封 |
40,50 |
| 特長 |
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